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晶圓水滴角測量儀測試效果-草莓视频污app官方入口
  • 發布日期:2020-02-17      瀏覽次數:487
    • 晶圓接觸角測量儀采用CCD數字攝像機,配倍高分辨率變焦式顯微鏡和高亮度LED背景光源係統,搭配三維樣品台,可進行工作台上下、前後等方向移動。實現微量進樣及上下、左右精密移動。同時還設計了伸縮杆結構工作台,能適應在不同用戶材料厚度加大的場合。儀器框架可以根據式樣的大小適量調節,擴大了儀器的使用範圍。軟件搭配修正功能,測試多次後的結果可以同時保存在同一報告下,能讓用戶對材料數據進行管控。該儀器設計美觀大方、操作簡單、符合用戶所需。

      晶圓表麵分析檢測測量係統、晶圓表麵張力分析係統適用於半導體晶圓工藝的質量控製。提供晶圓表麵的快速並準確的接觸角/表麵能分析,從而評估粘性,潔淨度及鍍膜。 采用輕量化的設計、組裝方便和的基於 Windows標準的用戶友好型軟件,以創建一個即準確容又容易使用的接觸角測量儀係統。 注射滴液機製可以抬起便於裝載,消除了對晶圓 (Wafers)可能產生的損壞。用於晶圓表麵分析,同時也可用於其它需要測量較大體積樣件的分析應用。樣件可允許 300 X 300 X 19mm。

      水滴角測量儀主機及測試視頻的操作視頻及圖片:

      (1)主機使用高強度航空鋁合金結構搭配模塊化設計理念,集成芯片電路控製,保證儀器以狀態運行;

      (2)成像部分使用高性能工業機芯及無失真遠心鏡頭確保的成像效果。

      (3)工業級可調LED單波長冷光源係統,成像清晰

      (4)自動位移平台,實現Y、Z自動定位測量,定點地位更準確,測量效率更高

      規格:

      主機外形尺寸:1200mm(長)*600mm(寬)* 670mm(高) 主機淨重:55KG

      工作台麵尺寸:420mm*420mm

      工作台移動:自動,行程160mm,精度0.01mm;上下移動 手動,行程20mm,精度0.01mm

      進樣器移動:自動上下60mm(自動); 左右30mm

      工業鏡頭:前後移動30mm(微調3mm),0.7X *-4.5X連續變倍變焦顯微鏡

      CCD:高速工業級芯片; 鏡頭角度可調試:仰視、平視、俯視多視角觀察

      光源:LED可調節藍色基調工業級冷光源;使用壽命達貳萬伍仟小時以上

      電源及功率:220V / 60HZ

      晶圓產品處理前WORD報告及測試圖片:草莓视频污app官方入口對樣品進行十個點的測試,平均角度72.04度。

      晶圓產品處理後WORD報告及測試圖片:草莓视频污app深夜释放自己對樣品進行十個點的測試後,再用等離子清洗機處理,平均角度16.58度。

      標樣校檢報告:儀器檢驗信息

      儀器名稱:

      水滴角測量儀

      檢驗時間:

      2018.10.08

      儀器型號:

      PZ-500SD

       

      晶圓接觸角測量儀應用

      1、液體在固體表麵的接觸角和潤濕性:包括靜態接觸角,動態接觸角(前進/後退接觸角),接觸角滯後性等;

      2、液滴在固體表麵的起始滑動角(或滾動角),滑動速度;(擴張功能)

      3、液體在固體表麵的鋪展、滲透/吸收等潤濕行為;

      4、固體表麵自由能,及其各種分子相互作用力(如極性/非極性)的貢獻;

      5、液體在固體表麵的粘結力(adhesion)、滯留力(retention)等;

      6、固體表麵在經過清洗、處理後的結果(效果)評估:如潔淨度(cleanliness),均勻性(homogeneity),和表麵能改變幅度等;

      7、液/流-體係的表麵/界麵張力:包括靜、動態表/界麵張力的測量;

      8、表/界麵張力以及表麵活性成分含量的現場、在線、實時監測;

      9、表麵活性物質(如表麵活性劑)臨界膠團溶度(CMC)的測量:包括全自動CMC測量,全自動有關配方的篩選和優化;

      10、表麵活性物質在界麵的吸附、排列、取向、鬆弛等現象的研究;

      11、液體界麵的粘彈性和穩定性:如乳狀液/泡沫等體係的穩定性研究等等各種與液/流/固-體係相關的界麵現象和過程的測量和分析等。

      12、全自動檢測整體解決方案,可搭配至流水線上使用,提高檢測效率;

       

      二·設備原理解析(Principle analysis

       

      規格

      1. 主機外形尺寸:1200mm(長)*600mm(寬)* 670mm(高) 
      2. 主機淨重:55KG
      3. 工作台麵尺寸:420mm*420mm
      4. 工作台移動:

       前後移動 自動,行程160mm,精度0.01mm
              上下移動 手動,行程20mm,精度0.01mm

      1. 進樣器移動:自動上下60mm(自動);  左右30mm
      2. 工業鏡頭移動:前後30mm(微調3mm)
      3. 工業鏡頭:0.7X *-4.5X高清遠心連續變倍變焦顯微鏡
      4. CCD:高速工業級芯片;60幀/S
      5. 鏡頭角度可調試:仰視、平視、俯視多視角觀察
      6. 光源:LED可調節藍色基調工業級冷光源;使用壽命達貳萬伍仟小時以上
      7. 電源及功率:220V / 60HZ

       

      (二)分析軟件:

      (1)接觸角測量分析軟件自動橢圓擬合法(一鍵自動擬合,不存在人工誤差)包括:

      圓法擬合(適用於低角度接觸角測量)

      橢圓/斜橢圓擬合法(適用於高角度接觸角擬合)

      LY(應用於120°以上高角度接觸角測量)

      微分橢圓法/微分圓法(應用於不規則液滴形態接觸角的擬合)

      1. 動態接觸角擬合包括:

      潤濕性能測試(應用於慢性吸收材料、潤濕材料的表麵吸收或潤濕性能測試,批量處理)

      視頻擬合(應用於吸收或潤濕速度較快的樣品的吸收或潤濕性能測試,視頻動態處理)

      1. 動態表麵/界麵張力測量(測量液體整個過程的張力變化趨勢,更準確的判定其真實的表麵/界麵張力)
      2. 表麵能量計算(使用多種表麵能計算方式測量對固體表麵能量進行分析)
      3. 粘附功
      4. 數據報告(支持WORD、Excel類型數據報告,自動生成晶圓模式數據譜圖)

      規格:

      1. 接觸角測量範圍:0-180°
      2. 接觸角測量精度:±0.1°
      3. 表界麵張力測量範圍:0-2000mN/m;測量精度:0.01 mN/m
      4. 高精度自動滴液係統:軟件高精度滴液係統;滴液精度:0.0 1μl
      5. 一鍵式多點測量(可多次循環):自動進樣→自動接液→軟件自動完成測量→自動換下一個點位
      6. 可針對不同樣品設置測量方案並可保存,方便下次再次測量同一類樣品時直接調取測量

       

      四·產品特點(Product features)

      1. 高精度注射係統,全電腦控製,液滴控製精度可達0.01μl
      2. Y軸自動位移,平台自動旋轉,可一次測量多個已設置點並給出對應測量數據,實現全自動化測量
      3. 工業級可調LED冷光源係統(壽命25000H以上),更清晰的成像,同時避免額外熱度所導致的小液滴揮發
      4. 采用高性能工業機芯,無失真遠心鏡頭,確保的成像效果。
      5. 采用USB2.0標準接口,數據傳輸速度快,兼容性高
      6. 高強度航空鋁合金結構,模塊化設計理念,可配置各種常用測量附件
      7. 集成芯片電路控製,保證儀器以狀態運行
      8. 多種輔助模塊選取,滿足更多的外部測試條件
      9. 光學係統頂式法,適合超低角度測量和疏水材料測量
      10. 多種接觸角分析方法,更適合多種材料接觸角測量
      11. ,能夠自動識別基準線及輪廓線,無人為誤差
      12. 高速全自動操作測量,且直觀讀取數據結果,有圖有真相,有擬合痕跡,測流量結果是否準確一目了然
      13. 表麵接觸角分析模塊,更簡捷的操作,更準確的結果
      14. 視頻快速測試數據,可連續性進測試接觸角形態變化
      15. 一鍵式軟件操作: 【按空格鍵】--打開攝像頭; 【測試】--準確的控製滴液-自動接液-高精度的進行全自動測量-測量完畢後自動更換測量位置直至整個原設置好的測量方案運行結束
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